近期我司新品發(fā)布ULVAC愛發(fā)科 真空泵  CR300B

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發(fā)布日期

2026年4月29日

ULVAC愛發(fā)科 真空泵  CR300B產(chǎn)品介紹

在現(xiàn)代工業(yè)與科研領(lǐng)域，對真空環(huán)境的潔凈度、抽氣效率及運行成本要求日益嚴苛，ULVAC愛發(fā)科CR300B多級羅茨型干式真空泵正是為滿足這類需求而生的核心設(shè)備。作為CR系列中的大抽速型號，它憑借無油潔凈、高效節(jié)能、適配性強等優(yōu)勢，成為眾多高要求場景的理想選擇。

CR300B的核心優(yōu)勢首先體現(xiàn)在無油潔凈的運行特性上。它采用非接觸式轉(zhuǎn)子設(shè)計，轉(zhuǎn)子與殼體間保持微小間隙，無需真空油潤滑。軸承和齒輪等旋轉(zhuǎn)部件的潤滑油通過精密密封件嚴格隔離，杜絕了真空油返流和油霧污染問題。這一特性使其能為半導體制造、精密鍍膜等對容忍的工藝，提供純凈無油的真空環(huán)境，有效避免了油蒸氣對產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備精度的影響。同時，無接觸運行大幅減少了機械磨損，顯著延長了泵的使用壽命，降低了設(shè)備的維護頻率和長期運營成本。

空冷設(shè)計是CR300B的另一大亮點。相較于傳統(tǒng)水冷式真空泵，它無需配備復雜的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，免去了冷卻水配管安裝、水質(zhì)管理等一系列繁瑣工作，不僅降低了初期安裝成本，還減少了對公用工程的依賴。即使在冷卻水供應(yīng)不便的偏遠廠區(qū)或科研實驗室，CR300B也能穩(wěn)定運行。此外，它無需軸封氮氣等輔助氣體，進一步簡化了運行條件，讓設(shè)備部署更加靈活。

在抽氣效率方面，CR300B以300m3/h的大抽速脫穎而出，能快速實現(xiàn)腔室抽空，大幅提升工藝周轉(zhuǎn)效率。比如在真空鍍膜前的腔室準備階段，它可以在短時間內(nèi)將腔室壓力降至工藝要求范圍，減少等待時間，提高生產(chǎn)節(jié)拍。同時，緊湊的機身設(shè)計讓它在批量生產(chǎn)型真空設(shè)備的集成中具備良好適配性，無需占用過多空間，便于工廠進行生產(chǎn)線布局優(yōu)化。

CR300B的功能擴展性也為其加分不少。它可選配氣鎮(zhèn)機構(gòu)，引入干燥氣體防止水蒸氣在壓縮過程中凝結(jié)，最大水蒸氣處理量可達500g/h，特別適用于真空干燥等需大量排水的應(yīng)用場景。此外，可選配的ECO-SHOCK節(jié)能裝置，能在不影響抽氣性能的前提下，將電力消耗最大減少80%，同時抑制泵體發(fā)熱量，間接降低車間空調(diào)能耗，為企業(yè)實現(xiàn)低碳生產(chǎn)提供有力支持。

憑借CE、cTUVus國際標準認證，CR300B可在全球范圍內(nèi)無障礙應(yīng)用，無需針對不同地區(qū)進行特殊調(diào)整，為跨國企業(yè)的設(shè)備標準化部署提供了便利。

在應(yīng)用領(lǐng)域上，CR300B的身影遍布多個行業(yè)。在半導體制造中，它為晶圓清洗、光刻、薄膜沉積等環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定的潔凈真空環(huán)境，保障芯片加工精度；在真空鍍膜行業(yè)，它滿足了濺射、蒸鍍等工藝對高清潔度和快速排氣的雙重需求，助力生產(chǎn)出均勻致密的薄膜產(chǎn)品；在科研領(lǐng)域，它為分析儀器、材料研發(fā)等提供可靠的真空條件，支持高精度實驗開展；在醫(yī)藥和食品行業(yè)，它的無油特性避免了污染，可用于藥品真空干燥、食品真空包裝等場景，保障產(chǎn)品安全與品質(zhì)。