近期我司新品發(fā)布ANELVA 離子泵 912-7060

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發(fā)布日期

2026年5月6日

ANELVA 離子泵 912-7060產(chǎn)品介紹

ANELVA 是日本的真空技術(shù)品牌，現(xiàn)隸屬于 Canon ANELVA 集團(tuán)，其離子泵產(chǎn)品以無(wú)油、無(wú)振動(dòng)、無(wú)磁性干擾的純凈抽氣特性，在半導(dǎo)體制造、表面科學(xué)、粒子加速器及空間環(huán)境模擬等超高真空領(lǐng)域享有聲譽(yù)。912-7060 是 ANELVA 旗下的一款高性能濺射離子泵，專為需要真空度且絕對(duì)潔凈的工藝環(huán)境而設(shè)計(jì)。以下從產(chǎn)品概述、核心特點(diǎn)與典型用途三個(gè)方面進(jìn)行介紹。

一、產(chǎn)品概述

912-7060 屬于 ANELVA 的 912 系列離子泵，型號(hào)中的“7060"通常代表泵體的尺寸規(guī)格或抽速等級(jí)。離子泵是不同于機(jī)械泵或分子泵的真空獲得設(shè)備，它沒有任何運(yùn)動(dòng)的機(jī)械部件，也不使用任何油類作為工作介質(zhì)。其工作原理是利用高壓電場(chǎng)將殘余氣體分子電離，電離后的離子在電場(chǎng)作用下加速轟擊陰極鈦板，將氣體分子“埋入"鈦層中，或與鈦原子反應(yīng)生成穩(wěn)定的化合物（如 TiN、TiC），從而將氣體從真空中移除。

與渦輪分子泵或低溫泵相比，離子泵的在于它不向真空腔內(nèi)引入任何碳?xì)浠衔镂廴?，也不產(chǎn)生機(jī)械振動(dòng)或強(qiáng)磁場(chǎng)干擾。912-7060 繼承了 ANELVA 在離子泵領(lǐng)域數(shù)十年的技術(shù)積累，采用二極型或改進(jìn)型潘寧放電單元結(jié)構(gòu)，具有啟動(dòng)壓力寬、極限真空度高、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的特點(diǎn)，是超高真空系統(tǒng)中的“抽氣"設(shè)備。

二、核心特點(diǎn)

1. 絕對(duì)無(wú)油的潔凈真空
912-7060 的抽氣過(guò)程不涉及任何油類介質(zhì)。傳統(tǒng)油封式旋片泵或擴(kuò)散泵在工作時(shí)，油蒸氣會(huì)不可避免地返流至真空腔內(nèi)，污染樣品表面。而在離子泵中，與氣體接觸的金屬元件是鈦陰極和不銹鋼陽(yáng)極，沒有任何有機(jī)物質(zhì)。因此，912-7060 產(chǎn)生的真空是真正的“干式"潔凈真空，特別適合表面分析、分子束外延等對(duì)碳?xì)浠衔镂廴緲O度敏感的工藝。

2. 無(wú)振動(dòng)運(yùn)行，適用于精密儀器
由于離子泵沒有旋轉(zhuǎn)部件或往復(fù)運(yùn)動(dòng)的活塞，它在工作時(shí)幾乎不產(chǎn)生任何機(jī)械振動(dòng)。這對(duì)于掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡以及電子束光刻機(jī)等對(duì)振動(dòng)極為敏感的儀器至關(guān)重要。將 912-7060 安裝在這些設(shè)備的真空系統(tǒng)上，不會(huì)給成像分辨率帶來(lái)任何負(fù)面影響。

3. 無(wú)磁場(chǎng)干擾（或極低漏磁）
傳統(tǒng)的離子泵內(nèi)部需要使用強(qiáng)永磁體來(lái)約束電子的運(yùn)動(dòng)軌跡，但部分儀器（如電子顯微鏡、電子束曝光機(jī)）對(duì)雜散磁場(chǎng)非常敏感。ANELVA 在 912-7060 的設(shè)計(jì)中特別優(yōu)化了磁路結(jié)構(gòu)，通過(guò)屏蔽和磁路閉合技術(shù)，將泵體外的漏磁通降低水平。對(duì)于需要將離子泵直接安裝在電子光學(xué)柱附近的場(chǎng)合，還可選配磁屏蔽罩，進(jìn)一步降低干擾。

4. 寬工作壓力范圍與高極限真空
912-7060 可以在從 10?2 Pa 到 10?? Pa 甚至更寬的壓力范圍內(nèi)工作。它可以在分子泵或低溫泵預(yù)抽至中等真空后啟動(dòng)，并獨(dú)自將系統(tǒng)抽至 10?? Pa 以下的超高真空。在 bakeout（烘烤）之后，極限真空度可達(dá) 10?? ~ 10?? Pa 量級(jí)，滿足絕大多數(shù)超高真空應(yīng)用的需求。

5. 對(duì)惰性氣體也有一定抽速
普通的二極型離子泵對(duì)惰性氣體（如氬氣、氦氣）抽速較低，這是因?yàn)槎栊詺怏w不與鈦反應(yīng)，且被掩埋后容易再次釋放。912-7060 采用了改進(jìn)型的陰極結(jié)構(gòu)（如三極型或惰性氣體增強(qiáng)型設(shè)計(jì)），對(duì)惰性氣體的抽速顯著提升。這對(duì)于濺射鍍膜設(shè)備（使用氬氣作為工藝氣體）尤為重要。

6. 長(zhǎng)壽命與低維護(hù)
離子泵沒有磨損部件，的消耗品是鈦陰極板。當(dāng)鈦板被氣體轟擊消耗到一定程度后，抽速會(huì)下降，此時(shí)只需更換陰極板即可恢復(fù)性能，而無(wú)需更換整個(gè)泵體。在潔凈的真空系統(tǒng)中，陰極板的壽命可達(dá)數(shù)年甚至十年以上，維護(hù)成本極低。

三、典型用途與應(yīng)用場(chǎng)景

基于上述特點(diǎn)，912-7060 在以下領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用：

1. 半導(dǎo)體與電子束制造

• 電子束光刻機(jī)：電子束光刻需要真空（<10?? Pa）下進(jìn)行，以避免電子與氣體分子碰撞導(dǎo)致束流散射和能量損失。912-7060 的無(wú)振動(dòng)、無(wú)磁場(chǎng)特性與電子束光刻的苛刻要求匹配。

• 分子束外延設(shè)備：MBE 生長(zhǎng)超薄半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)時(shí)，背景真空中的殘余氣體（如水蒸氣、碳?xì)浠衔铮?huì)作為雜質(zhì)摻入外延層，嚴(yán)重降低材料質(zhì)量。離子泵提供的無(wú)油超高真空是獲得高純度外延層的基本保障。

2. 表面科學(xué)分析儀器

• X 射線光電子能譜儀：XPS 分析的是樣品表面幾個(gè)納米深度的信息，任何表面污染都會(huì)導(dǎo)致譜圖失真。ANELVA 912-7060 為 XPS 分析腔提供潔凈真空，確保檢測(cè)到的信號(hào)源自樣品本身而非吸附的污染物。

• 俄歇電子能譜儀、二次離子質(zhì)譜儀：同樣依賴超高真空環(huán)境，離子泵是其標(biāo)準(zhǔn)配置。

3. 粒子加速器與同步輻射

• 儲(chǔ)存環(huán)真空系統(tǒng)：在粒子加速器中，殘余氣體分子會(huì)與束流粒子碰撞，導(dǎo)致束流壽命縮短和背景輻射增加。離子泵被廣泛用于加速器的直線段和彎轉(zhuǎn)段，維持 10?? ~ 10?? Pa 的超高真空。

• 光束線站：同步輻射光束線上的光學(xué)元件（如單色器、反射鏡）對(duì)碳污染極為敏感，離子泵提供的潔凈真空可顯著延長(zhǎng)元件壽命。

4. 空間環(huán)境模擬

• 航天器真空熱試驗(yàn)：在地面模擬太空超高真空環(huán)境時(shí)，離子泵是獲取高真空的主力設(shè)備之一。其無(wú)振動(dòng)特性也避免了對(duì)航天器敏感部件（如光學(xué)瞄準(zhǔn)鏡、陀螺儀）的干擾。

• 電推進(jìn)器測(cè)試：電推進(jìn)器（如離子推力器、霍爾推力器）本身的工作原理與離子泵類似，測(cè)試時(shí)需要在高真空下進(jìn)行，以防推進(jìn)劑氣體污染試驗(yàn)艙。

5. 真空鍍膜與薄膜研究

• 超高真空濺射鍍膜：當(dāng)需要制純度的金屬薄膜或氧化物薄膜時(shí)，背景真空中的殘余氣體會(huì)成為污染源。離子泵作為主抽泵或維持泵，幫助系統(tǒng)快速達(dá)到 10?? Pa 以下的壓力。

• 石墨烯及其他二維材料制備：在超高真空下進(jìn)行樣品退火和生長(zhǎng)，離子泵確保腔體長(zhǎng)期維持清潔狀態(tài)。

6. 科研實(shí)驗(yàn)室與高校

• 超高真空綜合實(shí)驗(yàn)平臺(tái)：在物理系、材料系的實(shí)驗(yàn)室中，學(xué)生使用離子泵搭建超高真空系統(tǒng)，進(jìn)行表面物理、薄膜生長(zhǎng)等基礎(chǔ)研究。

四、使用與維護(hù)要點(diǎn)

• 啟動(dòng)條件：離子泵不能在常壓下啟動(dòng)，必須在系統(tǒng)預(yù)抽至 10?2 ~ 10?1 Pa 以下（通常由分子泵或渦輪分子泵實(shí)現(xiàn)）后才能通電啟動(dòng)。否則高壓放電會(huì)引起打火，損壞電源和泵體。

• 烘烤：為達(dá)到 10?? Pa 以下的極限真空，必須對(duì)整個(gè)真空系統(tǒng)（包括離子泵本身）進(jìn)行 150°C ~ 250°C 的真空烘烤，以去除器壁吸附的水汽。

• 電源匹配：必須使用 ANELVA 原廠或認(rèn)證的高壓電源（通常輸出電壓 3-7 kV），不可用普通直流電源替代。電源應(yīng)具備過(guò)流保護(hù)和滅弧功能。

• 陰極更換：當(dāng)離子泵在高電壓下的電流明顯下降（抽速衰減）或顏色變黑時(shí)，需要更換鈦陰極板。更換后需要進(jìn)行老煉處理（逐步升高電壓至工作值）。

• 磁場(chǎng)干擾防護(hù)：對(duì)于磁場(chǎng)敏感設(shè)備，建議安裝磁屏蔽罩，并保持泵體與電子光學(xué)柱之間至少 30cm 的距離。

五、總結(jié)

ANELVA 912-7060 離子泵是一臺(tái)專為超高真空與絕對(duì)潔凈環(huán)境打造的“抽氣"設(shè)備。它以無(wú)油、無(wú)振動(dòng)、低磁干擾的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，在半導(dǎo)體制造、表面科學(xué)、粒子加速器及空間模擬等領(lǐng)域占據(jù)著不可替代的地位。雖然離子泵的抽速相對(duì)于分子泵或低溫泵較小，且無(wú)法在大氣壓下工作，但它在超高真空區(qū)的表現(xiàn)以及對(duì)純凈度的追求，使其成為那些對(duì)污染極度敏感的工藝中的一環(huán)。在全自動(dòng)化的晶圓廠里、在精密表面分析儀器的真空腔內(nèi)、在粒子加速器的束流管道旁，ANELVA 912-7060 安靜地、持續(xù)地抽取著最后一絲氣體，為人類的科技進(jìn)步提供著最純凈的真空環(huán)境。