池田屋 ROOKS 模塊化設(shè)計(jì)控制儀器儀表 SLA5851 

池田屋 ROOKS 模塊化設(shè)計(jì)控制儀器儀表 SLA5851 

一臺(tái)設(shè)備支持多種氣體，最大限度地提高工藝靈活性和生產(chǎn)率。 GF40 系列彈性密封質(zhì)量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術(shù)，非常適合使用多種氣體、經(jīng)常更改氣體類型或保持氣體測量和控制精度的應(yīng)用，是系統(tǒng)、過程和設(shè)施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測量和控制性能，將您的過程靈活性提升到一個(gè)新的水平。

利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間，該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。

簡單易懂的 MultiFlo™ 編程：60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存

通過基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測量系統(tǒng)和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的過程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性，確保最大產(chǎn)量和吞吐量

用戶可訪問的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應(yīng)用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中

利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間，該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。

簡單易懂的 MultiFlo™ 編程：60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存

通過基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測量系統(tǒng)和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的過程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性，確保最大產(chǎn)量和吞吐量

用戶可訪問的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應(yīng)用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中

流量范圍（滿量程容量）3 sccm - 50 slpm

準(zhǔn)確性

SP 35-100% 的 1%，F(xiàn)S 2-35% 的 0.35%

再現(xiàn)性

0.20% SP

線性度

±0.5% FS（包含在精度內(nèi)）

響應(yīng)時(shí)間

常閉閥：300 毫秒 -<1 秒

多氣體多范圍MultiFlo™ 可用

控制范圍

2-100%

垃圾箱數(shù)量

10 個(gè)垃圾箱

閥門關(guān)閉

當(dāng)設(shè)定點(diǎn)低于滿量程的 1.5% 時(shí)關(guān)閉閥門

零穩(wěn)定性每年 <±0.5% FS

壓力系數(shù)

0.03% 每 psi (0-50psi N2 )