SEM坂本電機 SEC-021Fiv2-H 傾斜角監(jiān)視系統(tǒng) 

SEM坂本電機 SEC-021Fiv2-H 傾斜角監(jiān)視系統(tǒng) 

這款 2 軸數(shù)字水平儀（有線）是一款高精度且輕便的水平儀。與普通水平儀相比，數(shù)字顯示使現(xiàn)場調(diào)整更加容易。此外，顯示單元和水平傳感器有線連接，因此可以從遠(yuǎn)處進行測量。由于重量輕，可以在敏感區(qū)域（例如處理晶圓的區(qū)域）進行測量。氣泡顯示在顯示器屏幕上，允許像查看氣泡水平儀一樣進行調(diào)整。數(shù)字顯示消除了操作員之間的讀數(shù)差異。

特征
01水平X、Y軸角度精度±0.001度（17.5μ/m）
02可以對垂直間距狹窄的區(qū)域進行水平觀察。
可以對垂直間距狹窄的區(qū)域進行水平觀察。

可讀取瞬時測量結(jié)果，無讀數(shù)

04

可以同時進行 2 軸調(diào)整，即使是初學(xué)者也可以進行調(diào)平工作。

05

設(shè)定水平檢查的通過范圍，即使對于初學(xué)者來說，水平調(diào)整工作也變得容易。

該分體式傾斜儀（水平測量型）是采用MEMS加速度傳感器的小型輕量兩軸型傾斜儀。

傳感器和顯示器不是集成的，而是通過電線連接的獨立類型，使得可以測量看不見的傾斜度。

另外，顯示器為數(shù)字顯示，因此測量值的可視性良好。

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